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吸收法:利用吸收液与废气接触，将废气中的---溶解在吸收液中，净化废气。吸收液另行处理。优点:投资小，运行费用低，操作简单。缺点:处理效率低，不稳定，净化效率低，约50%，难以满足相关环境保护要求，适用于低浓度有机废气，有二次污染。(6)凝结法:通过凝结冷却，温度低于---的凝结点时，气体---转化为液体，从空气中分离净化。优点:运行稳定，净化。缺点:投资大，对环境和操作人员要求高，能耗过大，运行费用高。

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由于半导体技术对操作室的清洁度要求---，通常使用鼓风机技术中挥发的各种废气，因此半导体行业的废气排出具有排出量大、排出浓度小的特点。这些废气排放主要分为酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体4种。酸碱废气主要来自扩散、cvd、cmp、蚀刻等工序，这些工序用酸碱清洗液清洗晶片。目前，半导体制造技术中常用的清洗溶剂是和---混合剂。这些工序产生的废气包括--- 、---、磷酸等挥发气，碱性气体为氨。

从点到面。首先控制和管理石化、有机化学工业、包装印刷等vocs排放量大的行业。强调重点。着重于设备的密封点、贮藏、装卸等重要部位。提高水平和效率。为环境保护监察员设置便携式机器，改变传统的闻监察方式，加强管理。加大信息公开。审计数据向社会公众公开，鼓励公众积极参与，形成---和被---的良性循环。vocs管理，12年---于vocs管理领域，对不同企业实施一企一策方案，---排放符合标准。危险废弃行业vocs管理项目在该项目生产过程中，原材料vocs挥发造成环境污染，直接损害工人身体，现需处理，减少污染，达到标准排放。